[发明专利]涂覆设备、处理腔室和涂覆基板的方法以及用至少一个材料层涂覆的基板在审
| 申请号： | 201980087373.8 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113227443A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | W·布劳恩;J·曼哈特 | 申请（专利权）人： | 马克斯·普朗克科学促进学会 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/00;C23C14/54;C30B23/06 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;魏奇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)的涂覆设备(1)。本发明还涉及一种用于涂覆设备(1)的处理腔室(10)，所述涂覆设备(1)用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)。本发明还涉及一种在涂覆设备(1)中用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆由基板材料(54)制成的基板(52)的方法。本发明的另一方面涉及一种用至少一个材料层(56)涂覆的基板(52)，包括用由层材料(58)制成的至少一个材料层(56)涂覆的由基板材料(54)制成的所述基板(52)。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 处理 涂覆基板 方法 以及 至少 一个 材料 层涂覆 | ||
【主权项】：
暂无信息
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