[发明专利]无监督的缺陷分段在审
申请号: | 201980087510.8 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN113260855A | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | E·索尔塔默罕默德;A·拉马克里希南;M·亚尼 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/88 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 刘丽楠 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开揭示一种检验系统,其可从缺陷检验系统接收与一或多个样品的检验相关联的检验数据集,其中与缺陷相关联的所述多个检验数据集的检验数据集包含两个或更多个信号属性的值及一或多个上下文属性的值。检验系统可进一步基于所述检验数据集中的每一者在由所述两个或更多个信号属性界定的信号空间中的相应位置而使用类别标记对所述检验数据集中的每一者进行标记,其中每一类别标记与所述信号空间的区域对应。检验系统可进一步通过使用所述上下文属性的所述值及针对所述检验数据集的对应类别标记训练分类器而将所述检验数据集分段为两个或更多个缺陷群组,其中基于所述经训练分类器识别所述两个或更多个缺陷群组。 | ||
搜索关键词: | 监督 缺陷 分段 | ||
【主权项】:
暂无信息
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