[发明专利]从陶瓷靶沉积的立方富铝AlTiN涂层在审
| 申请号： | 201980088086.9 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN113874540A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 西瓦·芬妮·库玛·亚拉曼奇利;丹尼斯·库拉波夫;佐佐木智也;久保田和幸 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔;莫尔蒂诺工具工程株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明披露了一种用于生产富铝Al |
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| 搜索关键词： | 陶瓷 沉积 立方 altin 涂层 | ||
【主权项】：
暂无信息
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