[发明专利]压电致动器制造方法在审
| 申请号： | 201980088283.0 | 申请日： | 2019-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN113272982A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王桂芹;刘晓蕾;马赫穆德·萨米;王宇峰 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/332 | 分类号： | H01L41/332;H01L41/047;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/317;H02N2/04 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 马晓田;王冬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种生成压电致动器的方法包括：在刚性衬底上形成压电构件；以及去除刚性衬底的一个或多个部分以在刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定压电构件的至少一个可变形部分和压电构件的至少一个刚性部分。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 致动器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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