[发明专利]用于评估表面粗糙度的装置和方法在审
| 申请号： | 201980088610.2 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN113316704A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 程方;付少炜 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技研究局 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 顾嘉运;蔡悦 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于评估物体的表面粗糙度的装置和方法。该装置包括具有用于测量沿物体的表面轮廓的多个位置的测量范围的共焦传感器、以及用于致动共焦传感器的致动机构。该方法包括：沿第一轴使共焦传感器移位至当前位置；沿与第一轴成法向的第二轴调整共焦传感器，使得当前位置在测量范围内；以及测量当前位置处的一组局部参数。该方法进一步包括基于多个位置处的局部参数计算一组表面粗糙度参数，该表面粗糙度参数用于对物体的表面粗糙度的所述评估。共焦传感器是基于一个或多个先前位置处的局部参数来针对当前位置进行调整的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 评估 表面 粗糙 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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