[发明专利]控制激光束的焦点的位置

摘要

在某些实施例中，一种用于控制激光束的焦点的位置的系统包括光束扩展器、扫描仪、物镜、以及计算机。所述光束扩展器控制激光束的焦点、并且包括反射镜和扩展器光学装置。所述反射镜具有表面曲率，所述表面曲率可以被调整以控制焦点的z位置。所述扩展器光学装置将激光束朝向反射镜引导并且接收从反射镜反射的激光束。所述扫描仪接收来自光束扩展器的激光束、并操纵所述激光束以控制焦点的xy位置。所述物镜接收来自扫描仪的激光束并将所述光束朝向目标物引导。所述计算机接收深度指令并根据所述深度指令来设定致动参数以控制反射镜的表面曲率。