[发明专利]包括氮化硼和二硼化钛的陶瓷复合物加热器

摘要

提供在2D和3D加热元件应用中使用的包括氮化硼(BN)和二硼化钛(TiB2)的陶瓷复合物。所述陶瓷复合物可在没有防护性涂层的情况下在加热器应用中使用。所述陶瓷复合物可对于氧气和湿气是耐蚀的直至例如900℃的温度，并且可提供增大的对于熔融或气化金属(包括铝)的耐蚀性。所述陶瓷复合物可为足够刚性的并且可不需要另外的介电结构支撑体。所述陶瓷复合物可为足够耐破裂的，以使得能够以高的盘绕长度对宽度或厚度的纵横比机械加工精细且复杂的图案和设计。所述陶瓷复合物可对于任意的加热器形状、取向和尺寸使用。