[发明专利]质量分析装置在审

专利信息
申请号: 201980090682.0 申请日: 2019-02-19
公开(公告)号: CN113366607A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 藤冈真悟;石原光 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;G01N27/62
代理公司: 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 代理人: 杨楷;毛立群
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的质量分析装置具备:导电性的探针;探针移动部,使所述探针在所述探针的前端接触位于使试样附着在所述探针的前端的规定位置的试样的试样采集位置与该前端从所述试样分离的规定的离子生成位置之间沿上下方向移动;高电压施加部,对位于所述离子生成位置的所述探针施加高电压,从附着在该探针的试样产生源自该试样成分的离子;试样保持部(样品盘(4)),包含:试样容纳部(转台部(42)),具有可分别容纳试样的多个凹部(421);底座部(基部(41)),分离自如地保持该试样容纳部,并具有用于使该试样容纳部移动的机械元件(齿轮(412)、(413)),以使该试样容纳部的所述多个凹部逐一移动至所述试样采集位置。
搜索关键词: 质量 分析 装置
【主权项】:
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