[发明专利]成像质量分析装置

摘要

本发明的一实施方式的成像质量分析装置具备：分析执行部(1)，对于设定在试样(3)上的二维的或者试样中的三维的测量区域(30)内的多个微小区域分别执行针对目标成分的MSn分析(n为2以上的整数)并收集数据；产物离子提取部(21)，基于通过该分析执行部得到的数据的至少一部分，提取在试样中观测到的多个产物离子；二维分布创建部(22)，基于针对MSn分析时的前体离子以及多个产物离子各自的数据，求出二维分布；分布关系性可视化部(23，25)，调查前体离子以及多个产物离子的二维分布的关系性，创建示出该二维分布的包含关系的图形或者图表，显示于显示部(4)。