[发明专利]用于调整激光射束的方法、用于提供经调整的激光射束的设备和光学布置在审
| 申请号： | 201980094486.0 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN113597715A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | J·米勒 | 申请（专利权）人： | 通快激光系统半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/101;H01S3/106;B23K26/06;H01S3/223;H01S3/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于调整激光射束(1)的方法，包括：借助探测器装置(6)的至少一个优选地点分辨的探测器(6a)来测量在穿过射束成形装置(4)之后激光射束(1)的射束轮廓(15，16)；基于所测量的射束轮廓(15，16)，求取所述激光射束(1)的射束质量特性(D)；以及调节可调设的光学器件(5)，以在所述激光射束(1)进入所述射束成形装置(4)之前改变其至少一个特性；其中，为了调整所述激光射束(1)，根据所求取的射束质量特性(D)尤其是多次调节所述可调设的光学器件(5)，优选直到所述射束质量特性(D)达到预给定的值(D |
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| 搜索关键词： | 用于 调整 激光 方法 提供 设备 光学 布置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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