[发明专利]抗蚀剂剥离液在审
| 申请号： | 201980094538.4 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113614646A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 渊上真一郎;鬼头佑典;小池至人 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 由于实施4K、8K这样的高精细度的广播传输格式，电视的画面变大。因此，为了在元件形成时不发生失败，光致抗蚀剂的烧成温度上升，光致抗蚀剂变得难以剥离。另外，由于使用大量的抗蚀剂剥离液，因此为了降低其成本，需要再生率高的抗蚀剂剥离液。提供一种抗蚀剂剥离液，其能够将经硬烘焙的抗蚀剂剥离，还能够进行蒸馏再生，所述抗蚀剂剥离液的特征在于，包含：2级环状胺化合物；极性溶剂，所述极性溶剂包含作为直链酰胺的选自N‑甲基甲酰胺、N,N‑二甲基甲酰胺、N,N‑二乙基甲酰胺、N,N‑二甲基乙酰胺、N,N‑二乙基乙酰胺中的至少一种、2‑吡咯烷酮及水；以及0.0001～0.01质量％的金属表面保护剂，前述直链酰胺的含量比前述2‑吡咯烷酮的含量多。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【主权项】：
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