[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201980095455.7 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN113728411A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 小松崎谅 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 关于带电粒子束装置，提供一种能够实现防止与拍摄图像相关的画质劣化的技术。带电粒子束装置具备向试样照射带电粒子束并将试样的信息图像化的拍摄装置和计算机。计算机存储通过多次扫描相同区域而得到的各图像(扫描图像)，将各图像分类为包含劣化图像的图像和不包含劣化图像的图像，保存从不包含劣化图像的图像通过图像累计而得到的目标图像。带电粒子束装置具备存储从包含扫描图像的拍摄装置得到的信息、分类结果以及目标图像等数据的数据库。带电粒子束装置通过对扫描图像中的不包含所选择的劣化图像的图像实施图像累计，从而得到抑制了随机噪声、防止了画质劣化的S/N和锐度高的目标图像。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980095455.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
