[发明专利]一种半导体结构及其制备方法在审
申请号: | 201980095825.7 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN114072925A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 程凯 | 申请(专利权)人: | 苏州晶湛半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 孟潭 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种半导体结构及其制备方法,包括:衬底(1)、沟道层(4)、势垒层(5)、栅极结构(6)、源极(7)、漏极(8),其中所述栅极结构(6)包括p型半导体层(62)、n型半导体层(63)、栅极(65);提高了栅极(65)对沟道的控制能力;提高半导体器件的阈值电压,避免栅极结构(6)垂直漏电,降低栅极结构(6)侧面漏电;避免沟道退化,提高器件的整体输出特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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