[发明专利]摄像机构以及具有摄像机构的试样分析装置在审
| 申请号： | 201980097911.1 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN114026482A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 三山敏史;土居昭;宫田仁史;庄司智广 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G02B21/30 | 分类号： | G02B21/30;G01N21/64;G02B21/26;G02B21/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对于摄像中在帕尔贴元件的散热面产生的热不易传导至保持试样的支承部件优选的摄像机构以及具有摄像机构的试样分析装置。摄像机构的特征在于，具有用于光学地观察试样的光学测量部；通过支承部件搭载在工作台上的、用于对试样进行加热和冷却的温度调节单元；和为了拍摄试样的全部区域而使工作台移动的移动机构，温度调节单元包括：与帕尔贴元件的一面抵接的、用于对试样进行加热和冷却的温度调节部；与帕尔贴元件的另一面抵接的导热部件；和用于保持温度调节部和导热部件并将其固定在工作台上的支承部件，至少导热部件连接至冷却单元，支承部件的导热率低于导热部件的导热率。 | ||
| 搜索关键词： | 摄像 机构 以及 具有 试样 分析 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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