[发明专利]一种体声波谐振装置及一种体声波滤波器在审
申请号: | 201980098451.4 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN114303318A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 刘宇浩 | 申请(专利权)人: | 常州承芯半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H3/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 徐文欣 |
地址: | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种体声波谐振装置(200),包括:第一层,其中,第一层包括位于第一侧的第一空腔;第一电极层,位于第一侧,第一电极层的第一端接触第一层,第一电极层的第二端位于第一空腔内;第二层,位于第一电极层上;以及第二电极层,位于第二层上,其中,第一电极层上与第二电极层重合的第一部分位于第一空腔内。由于谐振区(209)与第一层没有重合部,谐振区(209)相对于第一空腔悬空,可以提升谐振区(209)和非谐振区的声学阻抗的区别,从而提高谐振装置的Q值。此外,第二层包括压电层(205),压电层(205)不包括明显转向的晶体,从而可以有助于提高谐振装置的机电耦合系数以及Q值。 | ||
搜索关键词: | 一种 声波 谐振 装置 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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