[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201980099996.7 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN114341631A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 千叶宽幸;陈伟健;小松崎谅;佐藤博文 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;H01J37/22;H01J37/24;H01J37/252 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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