[发明专利]使用多阶段数据分离的推理过程建模、质量预测及故障检测

摘要

本发明涉及使用多阶段数据分离的推理过程建模、质量预测及故障检测。过程建模技术使用从典型的过程的历史数据开发的单一的统计模型，使用该模型对过程的多个不同过程状态进行质量预测和故障检测。建模技术为一系列的产品等级、生产量等中的每个确定过程参数的均值(和可能的标准差)，比较在线过程参数测量值与这些均值，且在单一过程模型中使用这些比较实施对该过程中的多个状态的质量预测和故障检测。由于只更新过程模型的过程参数的均值和标准差，所以当过程在任何已定义的过程阶段或状态中运行时能够用单一过程模型实施质量预测及故障检测。此外，可以对各过程参数手动或自动地校正该过程模型的敏感度(鲁棒性)以随时间调整或自适应该模型。