[发明专利]基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统在审
| 申请号： | 202010000758.0 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN110943360A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 赵晓杰;欧志龙 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/067 | 分类号： | H01S3/067;H01S3/094;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 邓星文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统，其包括飞秒激光器、泵浦耦合装置以及空芯光子晶体光纤；所述飞秒激光器用于生成具有飞秒脉冲的初始激光；所述泵浦耦合装置用于接收所述初始激光，并将所述初始激光耦合入所述空芯光子晶体光纤内；所述空芯光子晶体光纤用于对耦合进入其中的初始激光进行增益，以得到目标光束。本发明实施例通过产生稳定的、宽光谱的、高功率和高亮度的激光，且所生成的激光具有优异的单模光束质量和良好的方向性，以及可以与激光相媲美的亮度和空间相干性，可以满足集成电路制造工艺中缺陷特征尺寸越来越小以及高检测效率的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光子 晶体 光纤 连续谱 激光 光源 检测 系统 | ||
【主权项】：
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