[发明专利]电镀工艺及装置在审
| 申请号： | 202010002526.9 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111074327A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 孙祥烈;吕术亮;马亮;李远;黄驰 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D7/12;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;杨思雨 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电镀工艺及装置。该电镀工艺包括：提供第一测试电压，从而待电镀结构具有第一电学参数；根据第一电学参数调整第一测试电压，使得第一电学参数在第一预设值范围内；以及采用第一测试电压对待电镀结构进行第一次电镀，以形成第一电镀膜，其中，第一预设值小于待电镀结构所能承受的最大电流值或最大电压值。该电镀工艺及装置在电镀开始之前，向待电镀结构提供测试电压，并对测试电压进行检测、判断和控制，使得待电镀结构的电学参数在预设值范围内，从而避免了待电镀结构因电压过高或电流过大而发热损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 工艺 装置 | ||
【主权项】：
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