[发明专利]窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统有效
申请号: | 202010002528.8 | 申请日: | 2020-01-02 |
公开(公告)号: | CN111141385B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 陈沁;文龙;南向红 | 申请(专利权)人: | 暨南大学 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/18;G01J3/12;G01J3/02 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 李君 |
地址: | 510632 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统,所述滤波器包括基底,基底表面先形成光栅结构,然后沉积金属/类金属膜,或基底表面先沉积金属/类金属膜,然后形成光栅结构,通过改变基底材料、金属/类金属材料和光栅结构来调节带通中心波长;所述系统包括滤波器阵列和探测器阵列,滤波器阵列由多个不同带通中心波长的滤波器单元构成,每个滤波器单元采用上述的窄带透射滤波器,滤波器阵列的滤波器单元和探测器阵列的探测器单元一一对应组合。本发明的滤波器具有大的工作波长带宽和窄的通带,并且不同中心波长的滤波器可以一次图形化加工获得,通过与探测器阵列形成片上光谱分析与成像系统,大幅提高系统性能,并降低了系统复杂性。 | ||
搜索关键词: | 窄带 透射 滤波器 上光 谱分析 成像 系统 | ||
【主权项】:
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