[发明专利]敞开式流体液滴喷射匣、数字流体分配系统及其分配方法在审
| 申请号： | 202010002552.1 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111413513A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·D·小安德森;约翰·格列·艾德伦;麦可·A·马拉三世 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本大阪府大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种敞开式流体液滴喷射匣、数字流体分配系统、及将流体以数字方式分配到衬底上的方法。本发明提供一种含有待通过数字流体分配系统分配的一种或多种流体的敞开式流体液滴喷射匣及一种以数字方式分配流体的方法。敞开式流体液滴喷射匣包含：封盖，其中具有一个或多个开口；流体漏斗，悬挂在封盖中的一个或多个开口中的每一个上；腔室分离器，附接到流体漏斗上以将流体导入到一个或多个流体腔室中；流体溢流腔室，用于来自一个或多个流体腔室的流体溢流；流体通孔，与一个或多个流体腔室中的每一个相关联；以及多个流体喷射装置，邻接于与流体通孔流体流动连通的单个半导体衬底上的流体通孔。 | ||
| 搜索关键词： | 敞开 流体 喷射 数字 分配 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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