[发明专利]晶圆检测方法、装置和设备在审
| 申请号： | 202010002880.1 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111239152A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 谢真良;郑先意 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G06T7/00;G06T7/90;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 430078 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种晶圆检测方法、装置和设备，方法包括通过获取待检测晶圆的图像，将每个待检测区域与标准晶圆中的对应区域进行比较，标准晶圆包括N个区域，标准晶圆的每个区域与每个待检测区域一一对应，待检测区域在待检测晶圆中的位置与对应区域在标准晶圆中的位置相同，若每个待检测区域与标准晶圆的对应区域的差异在预设范围内，则确定待检测晶圆为合格晶圆；由于晶圆中不同区域对缺陷的判断标准不同，对每个待检测区域进行缺陷检测，使得晶圆的缺陷检测更加灵活，检测准确性更高。解决了现有技术中对晶圆的缺陷检测时，由于对晶圆是否存在缺陷的检测标准不灵活造成的晶圆是否存在缺陷检测结果不准确的问题，从而减少了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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