[发明专利]一种沉积装置

摘要

本申请实施例提供了一种沉积装置，所述装置包括：反应腔及设置在所述反应腔内的晶圆主支撑部和晶圆辅支撑部；其中，所述晶圆主支撑部用于在所述沉积装置执行沉积作业时承载晶圆，并对晶圆进行加热；所述晶圆主支撑部通过在所述晶圆辅支撑部的下方进行上下移动及沿中心轴转动，以在再次承载所述晶圆时提供与晶圆接触面发生转动的相对位置；所述晶圆辅支撑部用于在以下时刻承载所述晶圆：在所述晶圆主支撑部在所述晶圆辅支撑部的下方进行移动和/或转动时。