[发明专利]垂直电容器结构、电容器组件，以及制造所述垂直电容器结构的方法在审
| 申请号： | 202010004668.9 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111403602A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘旭唐;张皇贤;蔡宗唐;涂宏荣 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种垂直电容器结构包含衬底、至少一支柱、第一导电层、第一介电层和第二导电层。所述衬底界定腔。所述支柱位于所述腔中。所述第一导电层覆盖所述衬底的所述腔和所述支柱并与之共形，且与所述衬底绝缘。所述第一介电层覆盖所述第一导电层并与之共形。所述第二导电层覆盖所述第一介电层并与之共形。所述第一导电层、所述第一介电层和所述第二导电层共同形成电容器组件。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 电容器 结构 组件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
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