[发明专利]高填充率MEMS换能器有效
| 申请号： | 202010005578.1 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN111182429B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;贾利成;石磊 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 郑勤振 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS换能器，包括一个或多个换能器阵列，所述换能器阵列包括呈蜂窝状排布的若干个正六边形换能器单元，所述换能器单元包括：衬底，具有正六边形凹腔；和换能器结构层，位于所述衬底上方并与所述衬底接合，与所述正六边形凹腔成真空腔室；其中所述多个换能器阵列串联连接，所述换能器阵列中的所述若干个正六边形换能器单元相互并联。本发明采用蜂窝状排列将换能器单元进行阵列排布，可以实现100％的填充率，提高了换能器的接收/发射灵敏度。所述换能器结构层的所述底电极层和/或所述顶电极层采用内外差分式电极布置，提高电荷收集率。 | ||
| 搜索关键词： | 填充 mems 换能器 | ||
【主权项】：
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