[发明专利]一种等离子体传感器的设计方法及其制备的传感器

摘要

本发明公开的一种等离子体传感器的设计方法及其制备的传感器，先利用软件仿真计算获取双曲超材料的金属填充比ρ和金属‑电介质层的对数Nbi的最佳组合参数，再将双曲超材料以最佳组合参数的多层膜结构与Kretschmann结构或侧边抛磨光纤的抛磨面结合制成对应的等离子体传感器。与现有技术相比，其有效果在于：本发明提供的设计方法能够通过对双曲超材料的金属填充比(ρ)和金属‑电介质层的对数(Nbi)的调控，控制传感器的性能参数，实现性能参数的可控性；用该方法制备的等离子体传感器具有波长可调节、高灵敏度、高品质因素(FOM)、制造简单等优点，远胜于现在已有的等离子体传感器。