[发明专利]TMDs二维材料薄膜、器件及制备方法有效
| 申请号： | 202010006214.5 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN113072099B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 张苗;狄增峰;薛忠营;王晨;田子傲;陈玉龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C01G41/00 | 分类号： | C01G41/00;C01G39/06;C01B19/00;H01L21/02;H01L29/24 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种TMDs二维材料薄膜、器件及制备方法，基于高温热分解法，将TMDs前驱体盐熔融，以形成与生长衬底的表面相接触的溶解盐层及位于溶解盐层上方的TMDs二维材料薄膜；由于溶解盐层的溶解性，只需采用溶液即可将TMDs二维材料薄膜与生长衬底分离，并在溶液中完成TMDs二维材料薄膜的转移，可提供操作便捷、工艺简单、无污染、安全性高、制备面积大以及性能好的TMDs二维材料薄膜及器件。 | ||
| 搜索关键词： | tmds 二维 材料 薄膜 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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