[发明专利]一种晶体加工工艺在审

专利信息
申请号: 202010009769.5 申请日: 2020-01-06
公开(公告)号: CN111070449A 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 余剑云;刘聚斌;陈星火 申请(专利权)人: 福建晶安光电有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/02;B24B5/04;B24B5/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362411 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种晶体加工工艺,为了解决现有工艺200KG及以上重量的晶体在掏棒时掏棒刀具长度过长,掏棒过程中刀具偏摆造成晶体开裂、晶棒角度异常和刀具易变形问题,本发明设计一种加工工艺:将晶体沿平行于所需掏棒面的方向切成至少两部分,对切开的各部分晶体定向、晶体掏棒、晶棒切头尾、滚外圆、开平边、缺陷检验和切割成晶圆,避免刀具长度过长,降低晶体开裂和晶棒角度异常的比例,提升加工良率,减缓刀具的消耗速度,降低晶体加工成本。
搜索关键词: 一种 晶体 加工 工艺
【主权项】:
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