[发明专利]一种晶体加工工艺在审
申请号: | 202010009769.5 | 申请日: | 2020-01-06 |
公开(公告)号: | CN111070449A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 余剑云;刘聚斌;陈星火 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/02;B24B5/04;B24B5/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶体加工工艺,为了解决现有工艺200KG及以上重量的晶体在掏棒时掏棒刀具长度过长,掏棒过程中刀具偏摆造成晶体开裂、晶棒角度异常和刀具易变形问题,本发明设计一种加工工艺:将晶体沿平行于所需掏棒面的方向切成至少两部分,对切开的各部分晶体定向、晶体掏棒、晶棒切头尾、滚外圆、开平边、缺陷检验和切割成晶圆,避免刀具长度过长,降低晶体开裂和晶棒角度异常的比例,提升加工良率,减缓刀具的消耗速度,降低晶体加工成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 加工 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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