[发明专利]一种宽带薄膜腔声谐振滤波器有效
| 申请号： | 202010010060.7 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111130499B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 钱丽勋;李宏军;李丽;李亮;王胜福;郭松林;孙从科;徐佳;梁东升;丁现朋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H03H9/48 | 分类号： | H03H9/48;H03H9/54;H03H9/205 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 秦敏华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于半导体器件领域，提供了一种宽带薄膜腔声谐振滤波器，其中，所述宽带薄膜腔声谐振滤波器包括衬底、设置在所述衬底上的信号线、以及至少两个串联谐振单元和至少一个并联谐振单元；所述至少两个串联谐振单元串联连接到所述信号线，所述至少一个并联谐振单元连接在所述信号线与接地端子之间；所述串联谐振单元包括形成于所述衬底上的串联谐振器和与该串联谐振器串联连接的电感，所述并联谐振单元包括形成于所述衬底上的并联谐振器和与该并联谐振器串联连接的电感。本发明提供的宽带薄膜腔声谐振滤波器具有较大的相对带宽，应用范围较大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 薄膜 谐振 滤波器 | ||
【主权项】：
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