[发明专利]利用飞秒激光制备钙钛矿阵列微型谐振腔激光器的方法

摘要

本发明属于微纳激光器技术领域，具体提供了利用飞秒激光制备钙钛矿阵列微型谐振腔激光器的方法，先将FAI和PbI2两种原材料分别置于有机源和无机源中分别得到FAI源和PbI2源；然后将FAI源和PbI2源的蒸发速率稳定在时，且FAI源温度达到250℃同时腔内气压稳定在9±0.3×10‑4pa，后开始蒸镀；然后在蒸镀的同时，将承载钙钛矿的石英玻璃置于FAI源和PbI2源的上方，以使得FAI和PbI2蒸气在石英玻璃表面沉积得到FAPbI3；然后蒸镀结束后先冷却再退火得到钙钛矿薄膜；最后在蒸镀的钙钛矿薄膜上通过飞秒激光系统加工得到钙钛矿微纳结构。可根据原材料不同制备不同组分的钙钛矿薄膜，可根据蒸发沉积时间不同控制薄膜厚度。且利用激光加工更易于达到大规模高质量制备的要求。