[发明专利]十字形板状MEMS压电指向性传感芯片的制备方法有效
| 申请号： | 202010012600.5 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111180573B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 翟禹光;李俊红;樊青青;王文;汪承灏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H01L41/332 | 分类号： | H01L41/332;H01L41/113;G01H11/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙) 11462 | 代理人： | 宋磊 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片的制备方法。包括加工基底层、压电弹性复合支撑结构、十字形板状结构、及支撑件。每个压电弹性复合支撑结构被设计在对应的位置。这种十字形板状结构的MEMS压电指向性传感芯片的制备方法，工艺稳定性好，可行性强，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 十字形 mems 压电 指向 传感 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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