[发明专利]一种MEMS微带环形器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010012766.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111180843B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陶子文;孙俊峰;钱可强;贾世星;王守旭;郁元卫 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01P1/387 | 分类号： | H01P1/387;H01P11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS微带环形器及其制备方法，包括：铁镍合金层；微带层，设置于所述铁镍合金层上；下硅层，设置于所述微带层远离所述铁镍合金层的一面上；铁氧体层，贯穿所述下硅层以及所述微带层，向下延伸至所述铁镍合金层上；传输线层，设置于所述下硅层以及所述铁氧体层远离所述微带层的一面上；上硅层，设置于所述传输线层远离所述铁氧层的一面上；以及磁钢层，设置于所述上硅层远离所述传输线的一面上；其中，所述上硅层为台阶结构。本发明提供的一种MEMS微带环形器，通过将上硅层设置为台阶结构，降低了MEMS微带环形器的介质损耗以及辐射损耗，进而降低了MEMS微带环形器在使用的过程中的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 微带 环形 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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