[发明专利]单节长度一米以上的旋转ITO靶材制备工艺在审
| 申请号： | 202010013167.7 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111072380A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 曾墩风;王志强;陶成;黄剑 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64;B24B1/00;B28B3/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 张素庆 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种单节长度一米以上的旋转ITO靶材制备工艺，采用制粉‑粉处理‑造粒‑成型‑烧结‑机加工‑绑定‑检验共八个步骤；其中步骤三造粒采用超细研磨机，将混合浆料磨到0.5um以下，再增加黏结剂，后将粉末通过喷雾造粒机，制成球形分布均匀流动性好的粉末，靶材长对粉末要求高，如果不是流动性粉，靶材密度不均匀；步骤四采用专用聚氨酯模具，通过一米以上长的内腔和防水且有弹性的外罩制得素胚，步骤五烧结采用底部同步收缩原理，减少在高温炉内收缩产生不均，变形的问题，步骤六外圆磨采用气涨轴和外涨键条撑起靶材进行磨外圆，减少外圆磨的振动，保证其质量，整个工艺行业旋转ITO靶材长度最长500mm提升到一米以上，大大的提升了客户使用良率，降低了成本，竞争优势明显。 | ||
| 搜索关键词： | 长度 以上 旋转 ito 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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