[发明专利]一种金属氧化物薄膜的阳离子掺杂装置和掺杂方法在审
| 申请号： | 202010013902.4 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN111193073A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王欣月;李智信;凌洁;朱清滢;唐秀凤;王忆 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | H01M10/058 | 分类号： | H01M10/058;H01M4/13;H01M4/139;H01M10/42;G02F1/1523;G02F1/1524;G02F1/153;G02F1/155 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种金属氧化物薄膜的阳离子掺杂装置和掺杂方法，能够实现掺杂离子的定向迁移，相对于现有技术，上述阳离子掺杂装置利用通电电流在金属氧化物与液体(或凝胶体)，即电解质层与金属氧化物薄膜的固‑液界面处形成磁场，掺杂离子在该固‑液界面处进行热平衡交换时，由于两侧能量势垒差的不同，导致离子从金属氧化物到液体(或凝胶体)会被加速，而从液体(或凝胶体)到金属氧化物则会被减速，导致在磁场作用下掺杂离子在金属氧化物和液体(或凝胶体)中走不同半径的半圆弧运动，从而引起掺杂离子在金属氧化物表面处形成宏观的移动量，实现掺杂离子的定向迁移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 薄膜 阳离子 掺杂 装置 方法 | ||
【主权项】：
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