[发明专利]光检测模块及其制备方法、光检测基板

摘要

本发明提供一种光检测模块，包括开关晶体管和用于感光的感光器件，所述开关晶体管包括栅极、有源层、第一电极和第二电极，所述感光器件包括层叠设置的供电电极、感光层和输出电极，所述输出电极与所述第一电极连接，所述光检测模块还包括：与所述输出电极同层设置的对应所述有源层位置的阻挡部，与所述输出电极同层设置，且连接在所述输出电极与所述阻挡部之间的隔离部；其中，所述输出电极和所述阻挡部由导电的金属材料构成，所述隔离部由所述金属材料氧化得到的绝缘的金属氧化物材料构成。本发明提供的光检测模块中的开关晶体管受X光影响小，能够稳定、精确地进行X光检测。本发明还提供一种光检测基板、光检测模块的制备方法。