[发明专利]一种高精度空心全反镜的生产工艺在审
| 申请号： | 202010016624.8 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111206212A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 吴文龙;彭永民 | 申请（专利权）人： | 苏州沛斯仁光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/14;C23C14/30;C23C14/58;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度空心全反镜的生产工艺，包括：S1：将基体切割成有规则的矩形块；S2：使用激光微孔打孔扫描处理在所述基体表面形成孔径、孔距和孔深为10～150nm的微孔，所述微孔的密度为100～300目；S3：依次经由洗涤、浸泡、烘干得到待蒸镀基体；S4：将所述待蒸镀基体的反面经由纳米球刻蚀在其表面形成纳米粒子阵列；S5：使用电子束蒸镀在所述纳米粒子阵列的表面沉积纳米银膜得到银反射膜；S6：使用化学清洗将S4中的纳米粒子阵列去除；S7：再次使用溅射在所述保护膜的表面沉积纳米二氧化钛膜得到反射膜；封装后处理；将所述反射膜使用漂浮法在其反射面封装一层透明环氧树脂。其流程简单，且其制得的全反镜可以保持较长时间的清洁，反射率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 空心 全反镜 生产工艺 | ||
【主权项】：
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