[发明专利]基于双光路的太赫兹光谱与成像快速同步检测装置在审

专利信息
申请号: 202010016975.9 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111157487A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 王与烨;徐德刚;姜智南;姚建铨 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G01N21/3586 分类号: G01N21/3586
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 李林娟
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种基于双光路的太赫兹光谱与成像快速同步检测装置,装置由x‑z平面光路与y‑z平面光路组成,且两部分的平面光路共焦点、互相垂直;将待测样品置于两部分平面光路的共聚焦的位置,所述x‑z平面光路作为太赫兹光谱检测系统,所述y‑z平面光路作为太赫兹成像检测系统;所述太赫兹成像检测系统对待测样品进行反射式快速扫描成像,得到待测样品的图像信息;根据该图像中所有像素点的强度信息,选择图像中强度信息的异常值作为感兴趣区域,将感兴趣区域作为光谱测量的待测位置点;利用x‑y扫描平台将待测位置点移置共焦点处,暂停太赫兹成像检测系统,启动太赫兹光谱检测系统,获得待测位置点的太赫兹光谱信息。
搜索关键词: 基于 双光路 赫兹 光谱 成像 快速 同步 检测 装置
【主权项】:
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