[发明专利]基于双光路的太赫兹光谱与成像快速同步检测装置在审
申请号: | 202010016975.9 | 申请日: | 2020-01-08 |
公开(公告)号: | CN111157487A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 王与烨;徐德刚;姜智南;姚建铨 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 李林娟 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于双光路的太赫兹光谱与成像快速同步检测装置,装置由x‑z平面光路与y‑z平面光路组成,且两部分的平面光路共焦点、互相垂直;将待测样品置于两部分平面光路的共聚焦的位置,所述x‑z平面光路作为太赫兹光谱检测系统,所述y‑z平面光路作为太赫兹成像检测系统;所述太赫兹成像检测系统对待测样品进行反射式快速扫描成像,得到待测样品的图像信息;根据该图像中所有像素点的强度信息,选择图像中强度信息的异常值作为感兴趣区域,将感兴趣区域作为光谱测量的待测位置点;利用x‑y扫描平台将待测位置点移置共焦点处,暂停太赫兹成像检测系统,启动太赫兹光谱检测系统,获得待测位置点的太赫兹光谱信息。 | ||
搜索关键词: | 基于 双光路 赫兹 光谱 成像 快速 同步 检测 装置 | ||
【主权项】:
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