[发明专利]一种不等环宽金属膜超振荡环带片设计方法有效

专利信息
申请号: 202010020132.6 申请日: 2020-01-09
公开(公告)号: CN111240011B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 刘涛;何韬;李国卿;杨树明;王佳怡;刘康;田博 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00;G06F30/17;G06N3/00;G06N3/12;G06F111/10
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 段俊涛
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种不等环宽金属膜超振荡环带片设计方法,在固定波长激光垂直照明的条件下,根据所需衍射光场分布特征建立优化目标,利用优化目标及微纳加工条件,设定金属膜超振荡环带片参数,利用矢量角谱理论和快速汉克尔变换算法,计算超振荡环带片后各偏振电场分量以及光场强度分布,结合衍射光场优化目标建立适应度函数模型,计算各环带片的适应度大小,采用粒子位置搜索方法,同时结合遗传算法中变异操作对环带片各环宽度进行优化调整,经过迭代运算,最终求解出最接近或满足优化目标要求的金属膜超振荡环带片。本发明基于不等环宽的环带结构,采用粒子位置搜索的优化方法,从而能够优化出具有更少环带,更优性能的金属膜超振荡环带片。
搜索关键词: 一种 不等 金属膜 振荡 环带 设计 方法
【主权项】:
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