[发明专利]一种多尺寸兼容的晶圆研磨设备有效
| 申请号： | 202010023562.3 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111185846B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈丽娥;徐绪友 | 申请（专利权）人： | 徐绪友 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510405 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多尺寸兼容的晶圆研磨设备，其结构包括研磨加工腔、支撑平台、控制机箱，研磨加工腔中设置有升降杆、研磨盘、对位台，升降杆与研磨盘两者采用机械连接，研磨盘设于对位台的上端，研磨盘设有两个，研磨加工腔的信号端与控制机箱的信号输出端采用电性连接，支撑平台水平固定在研磨加工腔与控制机箱之间，对位台内部设置有推出轴、啮合纹路、滑动盖体、载物台、盖体侧滑机构，本发明在载物台上设置有滑动盖体，该滑动盖体上的盖面完全覆盖紧紧贴合于载物台上承载晶圆的一面，将载物台载物的一面与外界完全隔绝开，其到一个保护的作用，并且两者的紧密贴合可放置潮湿空气串入，保证其足够的干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 兼容 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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