[发明专利]4H-SiC沟槽绝缘栅双极型晶体管在审
申请号: | 202010023568.0 | 申请日: | 2020-01-09 |
公开(公告)号: | CN111524971A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 王颖;毛鸿凯;曹菲;包梦恬 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/423;H01L29/16;H01L29/06 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了4H‑SiC沟槽绝缘栅双极型晶体管,包括P+欧姆接触区、N+发射区、P型沟道区、载流子存储层、N‑电压阻挡层、N+缓冲层、P+集电区、P型多晶硅区、沟槽型栅极;本发明相对于传统结构,主要提出了在器件集电极一侧引入了沟槽型的p‑poly/p‑SiC异质结。由于异质结做成了沟槽形状,所以器件在正常导通时可以提升空穴注入效率,使得器件的通态压降降低;同时新结构由于异质结的引入,其在关断的过程中为电压阻挡层中载流子的泄放提供了低阻通道,可以加速电子的抽取,进一步降低了关断损耗。 | ||
搜索关键词: | sic 沟槽 绝缘 栅双极型 晶体管 | ||
【主权项】:
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