[发明专利]一种高储能密度的固态电介质薄膜电容器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010024046.2 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111223669B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 胡保付;孙轲;汪舰;杜保立;刘丙国;徐坚 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | H01G9/025 | 分类号： | H01G9/025;H01G9/042;H01G4/33;H01G4/10;H01G4/008 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454000 河南省焦作*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高储能密度的固态电介质薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括上电极(1)、复合电介质薄膜(2)、底电极(3)和衬底基片(4)，其中，所述的底电极(3)是沉积在衬底基片(4)上的一层金属导电薄膜，所述的复合电介质薄膜(2)是沉积在底电极(3)表面上的氧化铝/二氧化钛复合薄膜，然后在复合电介质薄膜(2)上沉积一层金属薄膜作为上电极(1)，制备成具有高储能密度的固态薄膜电容器。与现有的技术相比，本发明采用经过自修复后的氧化铝/二氧化钛复合薄膜作为电介质，具有较高的介电常数和击穿电场强度。本发明制备的电容器具有储能密度高且不存在电解液、安全可靠，成本低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高储能 密度 固态 电介质 薄膜 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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