[发明专利]一种用于脉冲化学气相沉积包膜的转筒式反应器及其应用

摘要

本发明公开了一种用于脉冲化学气相沉积包膜的转筒式反应器及其应用。反应器包括前驱体供应部、反应部和尾气处理部；前驱体供应部包括第一供气部和第二供气部，第一供气部包括带加热装置的源瓶；第二供气部连通空气，由反应部负压抽入；反应部包括反应转筒和驱动反应转筒的驱动装置，反应转筒横向放置于驱动装置上；尾气处理部用于对反应转筒抽真空以及吸收反应后的尾气。本发明中的反应器主要用于对锐钛型TiO2进行脉冲化学气相沉积包覆，采用该结构的反应器，能够改善气固相接触条件，解决由气体扩散困难引起的反应缓慢问题，加快气相包膜反应速率，并且可以简化操作条件，避免在原料平铺过程中存在的厚度不均、原料损失、粉尘污染等影响。