[发明专利]抗闩锁绝缘栅双极晶体管器件有效
申请号: | 202010025949.2 | 申请日: | 2020-01-08 |
公开(公告)号: | CN111223922B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 田晓丽;冯旺;杨雨;陆江;白云;刘新宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L29/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种绝缘栅双极晶体管,包括栅极、集电极、两个发射极和环形N型掺杂埋层,其中:两个发射极均分别位于对应的N+发射极区和部分p型base区上,而所述p型base区位于N型轻掺杂漂移层内,两个所述N+发射极区位于p型base区内;环形N型掺杂埋层,在p型base区内环绕N+发射极区,一端与沟道相接,另一端与表面处层间介质相接,将所述p型base区物理分割为p型base1区和p型base2区。本发明可以有效阻挡空穴电流流经N+发射极下方区域,但对沿着沟道运动的电子不产生影响,从而将电子电流和空穴电流分离,极大减小了流经N+发射极下方的电流,抑制了p‑base基区/N+发射极结的正偏,显著提高了器件的抗闩锁特性,提升了器件的坚固性。 | ||
搜索关键词: | 抗闩锁 绝缘 双极晶体管 器件 | ||
【主权项】:
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