[发明专利]抗闩锁绝缘栅双极晶体管器件有效

专利信息
申请号: 202010025949.2 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111223922B 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 田晓丽;冯旺;杨雨;陆江;白云;刘新宇 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739;H01L29/06;H01L29/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种绝缘栅双极晶体管,包括栅极、集电极、两个发射极和环形N型掺杂埋层,其中:两个发射极均分别位于对应的N+发射极区和部分p型base区上,而所述p型base区位于N型轻掺杂漂移层内,两个所述N+发射极区位于p型base区内;环形N型掺杂埋层,在p型base区内环绕N+发射极区,一端与沟道相接,另一端与表面处层间介质相接,将所述p型base区物理分割为p型base1区和p型base2区。本发明可以有效阻挡空穴电流流经N+发射极下方区域,但对沿着沟道运动的电子不产生影响,从而将电子电流和空穴电流分离,极大减小了流经N+发射极下方的电流,抑制了p‑base基区/N+发射极结的正偏,显著提高了器件的抗闩锁特性,提升了器件的坚固性。
搜索关键词: 抗闩锁 绝缘 双极晶体管 器件
【主权项】:
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