[发明专利]原子力显微镜在审
| 申请号： | 202010026410.9 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN113125807A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 郑仲翔;王伟珉;廖国富 | 申请（专利权）人： | 精浚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王红艳 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种原子力显微镜，该显微镜包含有一光发射器、一聚光透镜、一检测件、及一光检测装置。光发射器能朝向聚光透镜发出一光线，以使光线穿过聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在光线穿过聚光透镜后于检测件反射，而后能被光检测装置接收。检测件能检测一待测物的表面轮廓，并且光检测装置能在接收光线后产生相对应的电流值，进而使原子力显微镜能呈现待测物的表面轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
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