[发明专利]一种抗高过载绝对式谐振微压传感器有效
| 申请号： | 202010029370.3 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111141447B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 程荣俊;宋鹏程;张何洋;黄强先;张连生 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L7/10 |
| 代理公司： | 合肥市道尔知识产权代理有限公司 34169 | 代理人： | 司贺华 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗高过载绝对式谐振微压传感器，包括上端盖、中间壳体、下端盖、气体通道、微压传感器芯片、密封管壳以及用于控制外界气体通断的双波纹膜片、开关导向杆、平衡弹簧等组成的压力开关。当传感器所处环境压力高于芯片测量的安全阈值时，压力开关闭合，气体不会作用于微压传感器芯片，以此实现高过载保护；当进气口压力低于芯片测量的安全阈值时，压力开关打开，外界气体通过气体通道作用于芯片的背腔，引起敏感膜片产生形变，进而引起固支在敏感膜片上方的谐振梁固有频率变化，通过测量该谐振频率即可实现微压测量。本发明较好地解决了传统MEMS谐振压力传感器难以用于绝对微压测量的技术瓶颈，具有测量灵敏度高、分辨率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过载 绝对 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
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