[发明专利]太阳能电池板的断栅缺陷检测装置和方法在审
| 申请号： | 202010031032.3 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111146108A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 李文举;高小冬 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种太阳能电池板的断栅缺陷检测装置和方法，包括：上料区、量测区、电控组件、检测区、出料区，其中，所述上料区用于将太阳能电池板传送至所述量测区，所述量测区用于检测所述太阳能电池板的产品参数，所述产品参数包括：尺寸参数、单晶硅和多晶硅区域的面积比例；所述电控组件用于向位于所述检测区内的太阳能电池板提供正向偏置电压，以使得所述检测区对处于工作状态下所述太阳能电池板进行断栅缺陷检测；所述出料区根据所述检测区的检测结果，对所述太阳能电池板进行筛分处理。整个检测过程无需人工干预，实现自动化地检测，极大地提高了检测精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 电池板 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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