[发明专利]一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备有效
| 申请号： | 202010032067.9 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111189584B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 武启飞;高永喜;廖良生;梁舰;李涛;黄稳;虞强龙 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空测试技术领域，公开一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备。其中，真空封堵机构包括堵头、固定块和多个外径不同的套环。堵头包括封堵部和固定部，封堵部的直径大于通孔的直径，封堵部能够与真空腔壁的一侧贴合。套环能够套设在固定部上且能够可拆卸地卡设在通孔中。固定块能够与真空腔壁的另一侧贴合，固定部能够穿过固定块与紧固件可拆卸地固定连接，以使封堵部与真空腔壁紧密贴合并封堵通孔。本发明提供的真空封堵机构，只需针对通孔尺寸更换不同尺寸的套环，而无需更换不同尺寸的堵头，由于套环结构简单，更易加工，所以能够降低成本，另外通过套环卡设在通孔中，可以防止堵头发生侧向移动导致漏气，提高密封的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 封堵 机构 方法 测试 设备 | ||
【主权项】：
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