[发明专利]一种化学机械抛光机有效
| 申请号： | 202010032450.4 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111203807B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘和平 | 申请（专利权）人： | 诸暨雅言科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06;B24B27/00;B24B37/30;B24B37/10;H01L21/321;H01L21/67 |
| 代理公司： | 丽水创智果专利代理事务所(普通合伙) 33278 | 代理人： | 单拯 |
| 地址： | 311800 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光机，其结构包括机箱、工作台、工件放置座、密封抛光结构、机座、驱动箱，工作台水平安装于机箱上端，工件放置座嵌入安装于工作台内侧，密封抛光结构位于工件放置座正上方，密封抛光结构竖直安装于机座下端，驱动箱嵌入安装于机座内侧，密封抛光结构包括密封结构、连接座、卡板、旋转轴、活动结构，密封结构水平安装于连接座下端，旋转轴竖直安装于卡板上端，活动结构活动连接于连接座上端，本发明在连接座下端设置了密封结构，防止粉尘飘出，进而保护了工作台内侧，使工件放置座的切换更加顺畅；在连杆结构下端设置了密封板，防止粉尘飘出，并且更好的对粉尘进行收集，减少了粉尘的附着。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 抛光机 | ||
【主权项】：
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