[发明专利]一种大颗粒金刚石的制备装置及其制备方法在审
| 申请号： | 202010033316.6 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111074345A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;丁雄傑;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/10;C30B25/16;C30B25/12 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种大颗粒金刚石的制备装置及其制备方法，本发明的大颗粒金刚石的制备装置包括生长腔室、样品托和微波单元，样品托装设于生长腔室内，微波单元与生长腔室连接，还包括工艺气体单元和旋转调节单元，工艺气体单元与生长腔室连通，旋转调节单元与样品托连接，样品托设有用于放置金刚石样品的凹槽，凹槽内侧设为弧面型，本发明通过旋转调节单元调整样品托变速转动，球形金刚石籽晶在旋转调节单元的带动下，在样品托的凹槽内受控滚动，金刚石晶体可以在三维方向均衡生长，从而制备出高质量的大颗粒金刚石；本发明的制备方法，其工艺简单，制备效率高，且制得的大颗粒金刚石质量好，满足工业化的生产制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 金刚石 制备 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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