[发明专利]一种介质薄膜厚度及折射率的测量方法有效
| 申请号： | 202010033645.0 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111207677B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 雷兵;高超;刘建仓;雷雨 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41 |
| 代理公司： | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人： | 王文惠 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜检测领域，公开了一种介质薄膜厚度及折射率的测量方法。本发明利用零级涡旋半波片将被待测样品反射的光波转化为矢量偏振光场，此矢量偏振光场经检偏器作用后得到亮暗呈楔形分布的光强图像。在操作时，通过前后两次调整入射光的偏振状态，使光强图像亮区到达两种特定的方位并采集光强图像，将两次采集的光强图像分别进行分析处理得到一组高精度的椭偏角参数，进一步反解出待测薄膜的厚度与折射率。该发明操作简单便捷、测量精度高、测量结果对光源的功率和波长变化不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介质 薄膜 厚度 折射率 测量方法 | ||
【主权项】：
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